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精密五金加工中微孔的电火花加工工艺还有许多特殊要求。主要是能保持微小的进给速度，一般需要在0.5微米秒以下，而且电极的端面间隙一般在1微米以内，为此需设计制造专用的微孔电火花加工机床，用于实现微孔加工和反拷法制造微细工具电极。
工具电极的制造方法，最普通的是用车、磨等加工至所需尺寸，或用所需尺寸的线材校直作为电极，使用时装到电火花机床上，由于多次装夹，工具电极与电火花机床主轴的同轴度较差，工具电极的精度也就受到影响，从而也会影响精密五金加工精度。
采用反拷法制造工具电极，是将工具电极毛坯安装在电火花机床的主轴上，用反拷块铜钨合金或反拷丝（钼丝、铜钨合金丝）加工电极至所需尺寸。由于反拷块在加工过程会有损耗，很难从原电极毛坯直径预测最终加工出的工具电极直径。因此，需要反复测量，反复加工，才能达到所需的尺寸。同时，反拷块工作面的直线度和垂直度误差也会直接复制到工具电极上，影响到工具电极的制造精度。
